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Author: patents-wipo
Data
English[en]
When making, either the oscillator (102) or the at least one electrode (108) into an input electrode or into an output electrode, the MEMS resonator (100) is connected to a detection circuit that detects the transmission properties of the AC signal from the input electrode to the output electrode, and detects pressure on the basis of the transmission properties of the AC signal detected by the detection circuit.
French[fr]
Lors de la fabrication soit de l'oscillateur (102) soit de l'au moins une électrode (108) en une électrode d'entrée ou en une électrode de sortie, le résonateur MEMS (100) est connecté à un circuit de détection qui détecte les propriétés de transmission du signal de courant alternatif de l'électrode d'entrée à l'électrode de sortie, et détecte une pression sur la base des propriétés de transmission du signal de courant alternatif détecté par le circuit de détection.
Japanese[ja]
基板112と、機械的振動を行う振動部分と、固定される部分とを有する振動子102と、前記振動子に近接して位置し、前記振動子と前記基板表面に垂直な方向においてギャップ109を隔てて互いに重なる領域を有する少なくとも1つの電極108と、前記少なくとも1つの電極を、外部から加えられる圧力に応じて変位させて、前記ギャップを変化させる、圧力伝達機構108とを有するMEMS共振器100に、前記振動子102および前記少なくとも1つの電極108のうち、一つを入力電極とし、一つを出力電極としたときに、前記入力電極から前記出力電極に至る交流信号の伝達特性を検出する検出回路を接続し、前記検出回路が検出する交流信号の伝達特性に基づいて、圧力を検出する。