Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The ILD stressor is preferably compressive or tensile silicon nitride and the source/drain structure is preferably silicon germanium or silicon carbon.
French[fr]
L'élément de contrainte ILD est de préférence un nitrure de silicium de contrainte de compression ou de traction, et la structure de source/drain est de préférence constituée de silicium-germanium ou de silicium-carbone.