Besonderhede van voorbeeld: 8779107446571117976

Metadata

Author: patents-wipo

Data

English[en]
Charged particle radiation device provided with aberration corrector
French[fr]
Dispositif à rayonnement de particules chargées comportant un correcteur d'aberration
Japanese[ja]
収差補正器を備えた荷電粒子線装置

History

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