Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
In addition, the material container (1100), the transport pipe (1200), the vapor deposition head (1300) and the heater are contained in a vacuum container (1400).
French[fr]
De plus, le récipient de matière (1110), le tuyau de transport (1200), la tête de dépôt en phase vapeur (1300) et l'élément chauffant sont contenus dans un récipient sous vide (1400).
Japanese[ja]
また、成膜装置(1000)は、材料容器(1100)、輸送配管(1200)、及び蒸着ヘッド(1300)を加熱するヒータを備える。 また、材料容器(1100)、輸送配管(1200)、蒸着ヘッド(1300)、及びヒータは、真空容器(1400)内に収容される。