Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Hot water (15) having a temperature higher than the normal boiling point is used as a cooling medium to be supplied to a reactor (10), and the temperature of the inner wall of the reactor is kept at 370oC or lower.
French[fr]
De l'eau chaude (15) ayant une température supérieure au point d'ébullition normal est utilisée en tant qu'agent de refroidissement à fournir à un réacteur (10), et la température de la paroi interne du réacteur est maintenue à 370 °C ou moins.
Japanese[ja]
本発明は、反応炉の冷却に用いた冷媒から効果的に熱回収を行なうとともに、反応炉内で多結晶シリコンを析出させる際の反応炉内壁からのドーパント不純物の混入を低減して高純度の多結晶シリコンを製造し得る技術を提供する。