Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
As a result, it is possible to cause raw material gas existing in a non-heating area part on the surface of the shower plate to flow to a gas discharge port side, and it is also possible to reduce the chance of the generation of a stagnation area at a corner part.
French[fr]
Par conséquent, il est possible que le gaz de matériau brut qui existe dans une zone non chauffée sur la surface de la plaque de douche s'écoule vers un orifice d'évacuation gazeuse, et il est également possible de réduire le risque de génération d'une zone de stagnation dans un angle.
Japanese[ja]
シャワープレートの基板保持部材に対向する領域より外側で、かつ、シャワーヘッドとシャワープレートとの接面の間に空間を配設し、シャワープレートの空間が配設された領域部分に反応室内と連通する複数の貫通孔を設け、貫通孔を通じてパージガスを導入する。