Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The polymer compound for photoresists can reduce LER, while exhibiting excellent workability and resolution.
French[fr]
Le composé polymère pour photorésines permet de réduire la rugosité de bord de ligne (LER), et présente une excellente aptitude au façonnage et une excellente résolution.
Japanese[ja]
本発明のフォトレジスト用高分子化合物によれば、LERを低減することが可能で、且つ、優れた作業性、解像度を発揮できる。