Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Mems amplitude modulator and mems magnetic field sensor including same
French[fr]
Modulateur d'amplitude de mems et capteur de champ magnétique de mems l'incluant
Korean[ko]
멤스 진폭 변조기 및 이를 포함하는 멤스 자계 센서