Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The left-inclination observation images, non-inclined observation images and right-inclination observation images for the scanning lines obtained up to this point are simultaneously displayed on the same display device (31).
French[fr]
Les images d'observation inclinées à gauche, les images d'observation non inclinées et les images d'observation inclinées à droite pour les lignes de balayage obtenues jusqu'à ce point sont affichées simultanément sur le même dispositif d'affichage (31).
Japanese[ja]
そして、その照射軸を変更したときには、焦点調整コイル(14)を介して一次電子線(4)の焦点位置を照射軸の傾斜状態に応じて調整して、走査線1ライン分の試料(15)の表面の左傾斜観察画像、無傾斜観察画像または右傾斜観察画像を取得し、そのときまでに取得した走査線についての左傾斜観察画像と無傾斜観察画像と右傾斜観察画像とを同じ表示装置(31)に同時に表示する。