Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Monomer, hard mask composition comprising said monomer, and method for forming pattern using said hard mask composition
French[fr]
Monomère, composition de masque dur comprenant ledit monomère, et procédé permettant de former un motif à l'aide de ladite composition de masque dur
Korean[ko]
모노머, 상기 모노머를 포함하는 하드마스크 조성물 및 상기 하드마스크 조성물을 사용하는 패턴형성방법