Metadata
Author: cordis
Data
English[en]
Unfortunately, the process could not resolve the inhomogenous perpendicular distribution problem, requiring that either an annealing technique or an improved precursor feed would need to be developed.
Spanish[es]
Desafortunadamente, el proceso no ha podido resolver el problema de la distribución perpendicular inhomogénea, haciendo necesario desarrollar bien una técnica de tratamiento térmico o bien una mejor aportación de precursores al proceso.
French[fr]
Malheureusement, le processus n'a pas permis de résoudre le problème de répartition non homogène perpendiculaire, qui requiert l'utilisation d'une technique de recuit ou une alimentation précurseur améliorée.
Italian[it]
Sfortunatamente, il processo non è stato in grado di risolvere il problema della distribuzione perpendicolare disomogenea, è pertanto necessario sviluppare una tecnica di annealing o un'alimentazione potenziata del precursore.
Polish[pl]
Niestety za pomocą tego procesu nie udało się rozwiązać problemu niejednorodnej dystrybucji prostopadłej; konieczne więc jest opracowanie techniki wyżarzania lub ulepszone dodawanie prekursora.