Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
In order to improve the power durability of an electrode formed upon a piezoelectric film, a piezoelectric device and manufacturing method for the piezoelectric device are provided which are capable of greatly reducing the concentration of an etching solution and etching time.
French[fr]
Selon la présente invention, dans le but d'améliorer la durabilité de puissance d'une électrode formée sur un film piézoélectrique, un dispositif piézoélectrique et son procédé de fabrication sont capables de réduire fortement la concentration d'une solution de gravure et un temps de gravure.
Japanese[ja]
圧電薄膜上に形成する電極の耐電力性を向上させるとともに、エッチング液の濃度やエッチング時間を大幅に低減させることができる圧電デバイス、及び該圧電デバイスの製造方法を提供する。