Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
A treating gas containing a noble gas and oxygen is introduced into a chamber (1), and microwaves are introduced into the chamber (1) through the flat antenna (31).
French[fr]
Un gaz de traitement contenant un gaz noble et de l'oxygène est introduit dans une chambre (1), et des hyperfréquences sont introduites dans la chambre (1) par l'intermédiaire de l'antenne plate (31).
Japanese[ja]
複数の孔を有する平面アンテナ31によりチャンバ内にマイクロ波を導入するプラズマ処理祖100を用い、チャンバ1内に希ガスと酸素を含む処理ガスを導入するとともに平面アンテナ31によりマイクロ波を導入し、6.