Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The present invention relates to an apparatus for growing an ingot from silicon melt, which is accommodated in a crucible, using a seed crystal.
French[fr]
La présente invention concerne un appareil pour la croissance d'un lingot à partir d'une masse fondue de silicium, qui est logé dans un creuset, par utilisation d'un germe cristallin.
Korean[ko]
본 발명은 종자결정을 이용하여 도가니에 수용된 실리콘 융액으로부터 잉곳을 성장시키는 장치로서, 상기 도가니가 수용되는 하부와, 성장되는 잉곳이 통과하는 상부로 구성된 챔버; 및 상기 챔버의 상부에 배치되어 상기 챔버의 하부까지 연장되고, 상기 성장되는 잉곳이 통과할 수 있는 홀을 갖는 냉각속도 제어부; 를 포함하고, 상기 냉각속도 제어부는, 상기 잉곳을 보온하기 위한 단열부와, 상기 단열부 상측에 배치되어 상기 잉곳을 냉각시키기 위한 냉각부와, 상기 단열부와 냉각부 사이에 배치되어 상기 냉각부와 단열부 사이의 열 교환을 억제하기 위한 차단부를 포함하는 것을 특징으로 한다.