Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
An ion implanting apparatus (18a-18d) is provided with a first ion irradiation apparatus (50a) arranged on the side of a carry-in port (60) of a vacuum chamber (51), and a second ion irradiation apparatus (50b) which is arranged on the side of a carry-out port (61) of the vacuum chamber (51) by being spaced apart from the first ion irradiation apparatus (50a), and the ion irradiation regions of the first and second ion irradiation apparatuses do not overlap each other.
French[fr]
L'invention porte sur un appareil d'implantation ionique (18a-18d) qui inclut un premier appareil d'exposition ionique (50a), agencé du côté d'un orifice d'entrée (60) d'une chambre à vide (51), et un second appareil d'exposition ionique (50b), qui est agencé du côté d'un orifice de sortie (61) de la chambre à vide (51) en étant espacé du premier appareil d'exposition ionique (50a), et les régions d'exposition ionique des premier et second appareils d'exposition ionique ne se chevauchent pas.
Japanese[ja]
本発明のイオン注入装置(18a-18d)は、真空槽(51)の搬入口(60)側に設けられた第一のイオン照射装置(50a)と、前記真空槽(51)の搬出口(61)側に前記第一のイオン照射装置(50a)と離間して設けられた第二のイオン照射装置(50b)とを備え、前記第一、第二のイオン照射装置のイオン照射範囲は重ならないようになっている。