Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The trigger signal indicates that the wafer (W) is past the wafer inlet/outlet port of the vacuum processing chamber (12A) and has arrived at a point where the gate valve (25A) and the wafer inlet/outlet port no longer interfere with the wafer (W).
French[fr]
Ledit signal de déclenchement indique que ladite tranche (W) a dépassé ledit orifice d'entrée/de sortie de tranche de ladite chambre de traitement sous vide (12A) et est arrivée à un point auquel ledit robinet-vanne (25A) et ledit orifice d'entrée/de sortie de tranche n'interfèrent plus avec ladite tranche (W).
Japanese[ja]
このとき、ウエハWが真空処理室12Aのウエハ搬入出口を通過してゲートバルブ25A及びウエハ搬入出口と干渉しない位置に到達したことを示す信号をウエハ検出センサ35αが発信したことをトリガとして、スカラロボット15は真空処理室12Aから取り出したウエハWを真空処理室12Cへ搬送する回転動作を開始する。