Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
In said method and device, whereby the number of particulates in ultrapure water can be detected with high precision, two or more particulate-measuring means (A, B) are used to measure said number of particulates.
French[fr]
Dans lesdits procédé et dispositif, grâce à quoi le nombre de particules dans de l'eau ultrapure peut être détecté avec une précision élevée, au moins deux moyens (A, B) de mesure de particules sont utilisés pour mesurer ledit nombre de particules.
Japanese[ja]
2以上の微粒子測定手段A,Bによって、超純水中の微粒子数を測定する方法及び装置であって、各微粒子測定手段にそれぞれ超純水を流通させ、単位時間又は単位体積当りの微粒子数をそれぞれ測定し、それぞれの測定値の最も低い値を超純水中の微粒子数として採用する。