Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
A three-way valve having a simple structure, small-sized, and applied to a fluid supply circuit, such as a gas supply circuit for a semiconductor manufacturing device, requiring high reliability.
French[fr]
Robinet à trois voies à structure simple, de petite taille et utilisé dans un circuit d'alimentation en fluide, tel un circuit d'alimentation en gaz d'un dispositif de fabrication de semi-conducteurs, qui exige une haute fiabilité.
Japanese[ja]
簡素な構成を有し、小型化が可能であり、半導体製造装置のガス供給回路等、高い信頼性が要求される流体供給回路への適用が可能な三方弁を提供する。 三方弁2は、軸長方向に移動する第1弁軸31と、第1弁軸31の先端部に設けてあり、第1弁座30に対して退座又は着座して第1流路を開閉する第1弁体3とを備える。