Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Embodiments of the invention generally provide a processing chamber used to perform a physical vapor deposition (PVD) process and methods of depositing multi-compositional films.
French[fr]
Des modes de réalisation de la présente invention concernent en général une chambre de traitement utilisée pour réaliser un processus de dépôt physique en phase vapeur (PVD), et des procédés de dépôt de films à composition multiple.