Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Method for producing high-purity lanthanum, high-purity lanthanum, sputtering target formed from high-purity lanthanum, and metal gate film having high-purity lanthanum as main component
French[fr]
Procédé de fabrication d'un lanthane de grande pureté, lanthane de grande pureté, cible de pulvérisation cathodique formée de celui-ci et film de grille métallique ayant un lanthane de grande pureté comme composant principal
Japanese[ja]
高純度ランタンの製造方法、高純度ランタン、高純度ランタンからなるスパッタリングターゲット及び高純度ランタンを主成分とするメタルゲート膜