Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
A method, apparatus for and a device manufactured by the same, for printing a microlithographic pattern with high fidelity and resolution using simultaneously optimized illuminator and pupil filters having semi-continuous transmission profiles.
French[fr]
L'invention concerne un procédé, un dispositif fabriqué à l'aide du procédé et un appareil associé, qui permettent d'imprimer un motif microlithographique avec une fidélité et une résolution élevées, au moyen d'un système d'éclairage et de filtres pupillaires optimisés simultanément et dont les profils de transmission sont semi-continus.