Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The objective of the present invention is to provide a method that is for producing an optical element and that can uniformly and easily produce an anti-reflective structure at the entirety of a non-flat surface.
French[fr]
La présente invention porte sur un procédé qui est destiné à la production d'élément optique et qui peut produire de manière uniforme et aisée une structure antireflet au niveau de toute une surface non plate.
Japanese[ja]
巨視的な非平坦面である第1光学面11dを有する光学素子である光学要素アレイ100の製造方法であって、第1光学面11dを複数領域に区分けし、区分けされた複数領域のうち第1の領域に対して島状のマスクを形成する第1マスク形成工程と、第1マスク形成工程により島状のマスクが形成された第1の領域をエッチングして、第1の領域に反射防止構造体51を形成する第1エッチング工程と、第1エッチング工程後、複数の領域のうち第1の領域と異なる第2の領域に対して島状のマスクを形成する第2マスク形成工程と、第2マスク形成工程により島状のマスクが形成された第2の領域をエッチングして、第2の領域に反射防止構造体51を形成する第2エッチング工程とを備える。