Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
In addition, the aqueous cleaning solution composition of the present invention contains a large amount of deionized water and thus can be easily handled and is environmentally advantageous.
French[fr]
En outre, la composition de solution aqueuse de nettoyage de la présente invention contient une grande quantité d'eau désionisée et peut donc être facilement manipulée et est avantageuse sur le plan environnemental.
Korean[ko]
본 발명의 수계 세정액 조성물은 박막트랜지스터의 채널부에 형성되는 유기오염물 및 금속-레지스트 침착물, 금속산화물, 금속 착화물에 대한 세정력이 우수할 뿐만 아니라, 기판상에 형성되어 있는 금속배선 특히, 구리 및 구리합금 배선, 및 절연막의 부식방지 효과도 우수하다. 또한, 다량의 탈이온수를 포함하고 있어 취급이 용이하며 환경적으로 유리하다.