Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Surface-treatment method for components of mechanical booster pumps, turbomolecular pumps, or dry pumps, as well as mechanical booster pump, turbomolecular pump, or dry pump treated with said surface-treatment method
French[fr]
Procédé de traitement de surface pour des composants des pompes de surpression mécaniques, des pompes turbomoléculaires ou des pompes désamorcées ainsi que pompe de surpression mécanique, pompe turbomoléculaire ou pompe désamorcée traitée avec ledit procédé de traitement de surface
Japanese[ja]
メカニカルブースターポンプ、ターボ分子ポンプ又はドライポンプを構成する部材の表面処理方法及びこの表面処理方法により処理されたメカニカルブースターポンプ、ターボ分子ポンプ又はドライポンプ