Metadata
Author: MultiUn
Data
English[en]
Use as a component of a photoresist substance, including a photo acid generator or surfactant, or as a component of an anti-reflective coating, used in a photomicrolithography process to produce semiconductors or similar components of electronic or other miniaturized devices
French[fr]
Utilisation comme élément de substances photosensibles, y compris de générateurs de photoacides ou de surfactants, ou de revêtements antireflets utilisés en microphotolithographie pour la fabrication de semi-conducteurs ou de composants similaires de circuits électroniques ou autres circuits miniaturisés
Russian[ru]
использование в качестве компонента фоторезисторов, в том числе в качестве фоточувствительных генераторов кислоты или поверхностно-активных веществ или в качестве одного из ингредиентов просветляющего покрытия, используемого в электронике и микроприборостроении для изготовления полупроводников и аналогичных деталей микрофотолитографическим методом