본 발명은 가스상의 테트라메틸저마늄의 레이저 광분해를 이용한 저마늄 나노입자의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 측면에 따르면, 테트라메틸저마늄 가스에 펄스 레이저를 조사하여 광분해 하는 단계를 포함하는 저마늄 나노입자의 제조방법이 제공된다.
The present invention relates to a method for preparing germanium nanoparticles by using laser photolysis of gaseous tetramethylgermanium.patents-wipo patents-wipo