capteur de pression à membrane mince oor Engels

capteur de pression à membrane mince

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thin film pressure transducer

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Capteurs de pression à couche mince, membrane interne SEN-3376,-3377
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SEN-3291 - Industrial measuring and control equipment in the field of flow, pressure, level & temperature | Kobold Messring GmbH PL EnglishParaCrawl Corpus ParaCrawl Corpus
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OEM-Transmissor de Pressão SEN-3297 - Industrial measuring and control equipment in the field of flow, pressure, level & temperature | Kobold Messring GmbH PTParaCrawl Corpus ParaCrawl Corpus
L'invention concerne un capteur de pression (100, 400, 700) de microsystèmes électromécaniques (MEMS) qui comprend une structure de base (10) définissant une ouverture (14), une pluralité d'éléments de support (13, 15, 28) reliés à la structure de base (10), une membrane en film mince (12) soutenue par les éléments de support (13, 15, 28) et au moins un élément sensible à la contrainte (18) associé à au moins un élément de support (13, 15, 28).
A micro electrical mechanical system (MEMS) pressure sensor (100, 400, 700) includes a base structure (10) defining an opening (14), a plurality of support members (13, 15, 28) coupled to the base structure (10), a thin-film diaphragm (12) supported by the support members (13, 15, 28), and at least one strain-sensitive member (18) associated with the at least one support member (13, 15, 28).patents-wipo patents-wipo
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