液体原料気化器(300)は,液体原料を液滴状にして気化空間(350)に吐出する液体原料供給部(300A)と,気化部(300B)と,液体原料供給部からの液滴状の液体原料を気化部内に導入する導入口(338)と,気化部内に配置され,輻射熱によって加熱される材料で構成された通気性部材(362)からなるミストトラップ部(360)と,通気性部材の外側表面の全体に熱線を照射し,その輻射熱によって通気性部材を加熱する輻射熱ヒータ(370)と,加熱された通気性部材に液滴状の液体原料を通して気化させることによって生成した原料ガスを外部に送出する送出口(340)とを備える。
C' est quoi, le problème?patents-wipo patents-wipo