90-сы йй. башынан стехиометрик составтарын боҙмайынса металл, иретмә, ярым үткәргес материалдар ҡаплауҙары, эш итеү атмосфераһына ҡарап (азот, аргон, углерод диоксиды һ.б.) төрлө металл оксидтары, нитридтары, карбидтары, сульфидтары плёнкаларын алырға мөмкинлек биргән УВН-75П-1 һәм “Геттер-М” магнетронлы өрҙөрөү ҡулайламаларында таҙа металдарҙың (ванадий, баҡыр, никель, тантал) резистив һәм үткәреүсән ҡатламдары плёнкаларын алыу ғәмәлгә ашырыла.
Я ведь по настоящему испугался- ой, уморит он меня всвоей кочегарке, ой, уморитBashkir Encyclopedia Bashkir Encyclopedia