ボロメータ素子11及びリファレンス素子21を有する赤外線検出器1において、基板10の表面から離間して基板10の表面上に支持されたボロメータ薄膜22と、ボロメータ薄膜22の基板10側の表面に絶縁膜31を介して形成された放熱用金属膜23と、放熱用金属膜23及び基板10と熱的に接続された複数の金属柱25とを備えることで、赤外線により発生した受光部22aの熱が絶縁膜31、放熱用金属膜23、金属柱25、基板側放熱用金属膜24を介して基板10へ効率良く放熱されるので、使用環境の変化によって発生する温度変化のみを正確に測定することができ、使用環境における温度変化の影響を効率良く低減しつつ、小型化を図ることができる。
Lawrence!Merci de les avoir ramenéspatents-wipo patents-wipo