one or more microelectromechanical sensor elements (MEMS) manufactured with semiconductor technology, with mechanical components arranged in three‐dimensional structures on the semiconductor material,
yksi tai useampi puolijohdeteknologialla valmistettu mikrosähkömekaaninen anturi (MEMS) sekä kolmiulotteisiksi rakenteiksi puolijohdemateriaalille järjestettyjen mekaanisten komponenttien yhdistelmä,EuroParl2021 EuroParl2021