L'invention concerne en outre un procédé pour fabriquer ce type de sonde dont le corps de support et le bout pointu ou stylet ne forment qu'une seule pièce, à partir d'une tranche de matière cristalline par attaque chimique.
The invention further provides a method of making such a probe, having its support body and tip or stylus as integral parts, from a wafer of crystalline material by etching.patents-wipo patents-wipo