前記貫通電極形成工程は、前記ベース基板用ウエハにこのウエハを貫通する貫通孔を複数形成する貫通孔形成工程と;これら複数の貫通孔内に両端が平坦で且つベース基板用ウエハと略同じ厚みに形成された導電性の芯材を配置すると共に、芯材と貫通孔との間に連結材を配置するセット工程と;連結材を所定の温度で焼成することで、貫通孔と連結材と芯材とを一体的に固定させる焼成工程と;を備えている。
L'étape de formation d'électrodes de passage comprend une étape de formation d'orifices de passage qui consiste à former une pluralité d'orifices de passage dans et à travers la tranche de substrat de base, une étape de positionnement qui consiste à agencer des éléments de cœur, qui sont formés pour comporter deux extrémités plates et une épaisseur sensiblement égale à celle de la tranche de substrat de base, dans ces multiples orifices de passage, et à agencer des éléments de connexion entre les éléments de cœur et les orifices de passage, et une étape de frittage qui consiste à fritter les éléments de connexion à une température prédéterminée pour ainsi fixer les orifices de passage, les éléments de connexion et les éléments de cœur de façon intégrée.patents-wipo patents-wipo