Teile und Zubehör von Maschinen und Apparaten ausschließlich oder hauptsächlich a) zur Herstellung von Halbleiterbarren (boules), Halbleiterscheiben (wafers) oder Halbleiterbauelementen, elektronischen integrierten Schaltungen oder Flachbildschirmen, b) zur Herstellung oder zur Reparatur von Masken und Retikeln (Maskenvorlagen), c) zur Montage von Halbleiterbauelementen oder elektronischen integrierten Schaltungen, und d) zum Heben, Fördern, Laden und Entladen von Halbleiterbarren (boules), Halbleiterscheiben (wafers) oder Halbleiterbauelementen, elektronischen integrierten Schaltungen und Flachbildschirmen (ohne Werkzeughalter, selbstöffnende Gewindeschneidköpfe, Werkstückhalter und Teile und Zubehör für Ultraschallwerkzeugmaschinen)
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