Si l'on connaît à la fois l'inclinaison du faisceau d'électrons et l'aberration éventuellement présente, alors, en supposant une répartition de Gauss de la focalisation, la dispersion de défocalisation du microscope électronique reste le seul paramètre encore inconnu qui influence les modifications de la répartition d'intensité en fonction de la direction.
Sind sowohl die Verkippung des Elektronenstrahls als auch eine eventuell vorhandene Aberration bekannt, so ist bei Annahme einer gaußförmigen Fokusverteilung die Defokusstreuung des Elektronenmikroskops der einzige noch unbekannte Parameter, der die richtungsabhängigen Änderungen der Intensitätsverteilung beeinflusst.patents-wipo patents-wipo