La composition de décapage de résines comprend un mélange d'au moins un élément choisi parmi un ester cyclique comportant un noyau de 3 à 6 chaînons (par ex., le carbonate d'éthylène, le carbonate de propylène), une cétone comportant un groupe alkyle inférieure (par ex., l'acétone, la méthyl éthyl cétone) et un éther monoalkylique spécifique d'alkylène glycol (par ex., l'éther monoéthylique d'éthylène glycol, l'éther monobutylique de diéthylène glycol), et un amide cyclique spécifique (par ex., la N-méthyl-2-pyrrolidone) ou un amide linéaire spécifique (par ex., le N,N-diméthylacétoamide, le N,N-diéthylacétoamide).
本発明のレジスト剥離剤組成物は、3~6員環を有する環状エステル(炭酸エチレン、炭酸プロピレン等)、低級アルキル基を有するケトン類(アセトン、メチルエチルケトン等)、及び特定のアルキレングリコールモノアルキルエーテル類(エチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル等)のうちの1種と、特定の環状アミド類(N-メチル-2-ピロリドン等)又は特定の直鎖状アミド類(N,N-ジメチルアセトアミド、N,N-ジエチルアセトアミド等)との混合物を含有することを特徴とする。patents-wipo patents-wipo