Semiconductor wafer processing components, namely, epitaxial reactors, rapid thermal processing systems, atomic layer deposition reactors, chemical vapor deposition reactors, physical vapor deposition reactors, plasma etchers, ion implanters, chemical mechanical polishers
Composants de traitement de plaquettes à semi-conducteurs, À savoir, Réacteurs eptiaxiaux, Systèmes de traitement thermique rapide, réacteurs de dépôt par couche atomique, Réacteurs de déposition de vapeur chimique, Réacteurs de dépôt physique en phase vapeur, Appareils de gravure au plasma, Implanteurs d'ions, Polisseurs chimico-mécaniquestmClass tmClass