本発明の課題は、基板表面を腐食することなく微粒子付着による汚染、有機物汚染及び金属汚染を同時に除去することができ、しかも水リンス性も良好で、短時間で基板表面を高清浄化することができる半導体デバイス用基板洗浄液を提供することにある。
La présente invention a pour but de fournir une solution de lavage pour un substrat pour un dispositif à semi-conducteur, qui peut éliminer la contamination provenant de la fixation de fines particules, la contamination par des matières organiques et la contamination par des métaux simultanément sans provoquer la corrosion de la surface du substrat, peut être rincée avec de l'eau de façon satisfaisante, et peut très bien nettoyer la surface du substrat en un court laps de temps.patents-wipo patents-wipo