検査部内には基板を全面検査するためにXY移動ステージ機構や高速回転機構などの可動部があり、ファンフィルタユニット(以下FFU)も、付着異物をゼロにすることは困難である。
C’est pourquoi il est nécessaire d’utiliser la procédure négociée prévue à l’article #, paragraphe #, points b) et g) i), du règlement (CE, Euratom) no #/# de la Commission du # décembre # établissant les modalités d’exécution du règlement (CE, Euratom) no #/# du Conseil portant règlement financier applicable au budget général des Communautés européennespatents-wipo patents-wipo