본 발명은 입자형 다결정실리콘 제조용 유동층 반응기 및 이를 이용한 다결정 실리콘 제조방법에 관한 것으로 보다 상세하게는 챔버 하부에서 유동가스를 주입하여 챔버 상부에서 반응이 일어나는 입자형 다결정실리콘 제조용 유동층 반응기에 있어서, 밀폐형의 챔버; 상기 챔버 내부에 위치한 관 형태의 가열장치; 상기 가열장치 내부로 유동가스가 공급될 수 있도록 챔버 하부에 형성된 유동가스 제1공급관; 및 상기 가열장치 내부에 유동가스 속도를 증가시키는 벤츄리를 포함하는 것을 특징으로 하는 입자형 다결정실리콘 제조용 유동층 반응기 및 이를 이용한 다결정 실리콘 제조방법을 제공한다.
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