Los inconvenientes son peligro de explosión y la alta sensibilidad de la tasa de deposición y la morfología de los parámetros del proceso, tales como proporción de la mezcla, la temperatura del sustrato, etc. Por lo tanto, silano que comúnmente se utilizan para crear una capa de tungsteno nucleación delgada.
To that purpose, the continuously measured flow rate signals are used to correct the sample flow rate through the particulate filters of the particulate sampling system (Figures # and #), accordinglyWikiMatrix WikiMatrix