A cet effet, l'invention concerne un procédé et un appareil de fabrication de dispositifs, utilisant un procédé de traitement d'une tranche unique à l'aide de tranches de 0,5 pouce. Une ligne de fabrication est formée par disposition d'une pluralité d'appareils de traitement unitaires (1) d'un type très proche, chacun étant portatif, ayant de préférence une forme extérieure normalisée et exécutant un traitement parmi une pluralité de traitements de fabrication.
5インチサイズのウェハによる枚葉処理方式でのデバイス製造方法及び装置であって、可搬とされ、望ましくは規格化された外形を有し、製造プロセスの内の1つの処理プロセスを処理する密閉型の単位処理装置1を多数配置して製造ラインを形成し、当該デバイスの製造単位数が単位処理装置の数より多い場合には、当該デバイスの処理プロセスの順序に対応させて該単位処理装置をフローショップ方式により配置し、当該デバイスの製造単位数が単位処理装置の数と同等の場合には、該単位処理装置を工程の順序の大分類ごとにクラス分け配置したクラスショップ方式により配置し、さらに製造単位数が工程数を大きく下回る場合には、プロセス種1種類に1台程度の単位製造装置を1つのセル内に配置し、そのセルが複数で構成されるマルチセルショップ方式により配置する。patents-wipo patents-wipo