본 발명은 주사전자현미경용 빈필터 제어방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 주사전자현미경용 빈필터 제어방법은 광소스로부터 생성되는 전자빔이 빈필터를 통과하여 시료에 입사된 후 방출되는 방출전자를 빈필터에 통과시켜 디텍터에 입사시킴으로써 검출하는 주사전자 현미경에 이용되는 방법으로서, 상기 빈필터를 통과한 전자빔이 상기 시료의 목표점에 도달되도록 하는 동시에 상기 시료로부터 방출되어 상기 빈필터를 통과하는 방출전자가 상기 디텍터에 도달되도록 하기 위하여 상기 빈필터에 인가되어야 하는 최종전기장 및 최종자기장을 산출하는 산출단계; 상기 최종전기장 및 상기 최종자기장을 상기 빈필터에 인가하는 인가단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
The method for controlling the Wien filter for the scanning electron microscope is used for a scanning electron microscope which detects electrons by passing them through the Wien filter and making same enter a detector, wherein the electrons are emitted after electronic beams generated from a light source enter a sample through the Wien filter.patents-wipo patents-wipo