본 발명은 반도체 제조시에 발생하는 폐가스를 제거하는 스크러버가 배출한 유체에서 수분을 분리제거하는 수분제거장치에 대한 것으로, 더욱 상세하게는 상기 수분제거장치는 상기 스크러버의 배기관에 직립된 체로 연결되어, 상기 스크러버에서 배출된 유체가 유입되는 유입관과; 상기 스크러버의 상측에 위치하여, 상기 유입관을 통해 유입된 유체에서 수분을 분리하는 수분분리통과; 상기 수분분리통의 하면상에 연결되어, 분리된 수분을 외부로 드레인시키는 수분포집관과; 상기 수분분리통의 상면상에 연결되어, 수분이 제거된 유체를 외부로 배출하는 배출관;을 포함하며, 상기 수분분리통은 내면 일 측에서 돌출되어 대향되는 방향으로 일정 길이 연장되고, 상기 유입관의 중심선과 예각의 교차각도를 가지도록 말단으로 갈수록 하면 방향으로 기울어져서, 상기 유입관을 통해 유입된 유체와 부딪쳐 와류를 형성하는 접촉판;을 포함하여, 상기 수분제거장치가 차지하는 부피를 최소화시킬 수 있고, 상기 유입관의 부식을 효과적으로 막을 수 있고, 유입되는 유체와의 접촉면적을 최대화함으로써 비산되어 유체와 함께 흡입된 액체상태의 수분뿐만 아니라 습기 형태의 수분도 효과적으로 분리제거할 수 있는 수분제거장치를 제공하고자 한다.
Subject: Invalidity of a civil aviation pilot’s licence if use is made of it in another Member State or after revision of the rules governing Air Transport Pilot Licences (ATPLpatents-wipo patents-wipo