2以上の微粒子測定手段A,Bによって、超純水中の微粒子数を測定する方法及び装置であって、各微粒子測定手段にそれぞれ超純水を流通させ、単位時間又は単位体積当りの微粒子数をそれぞれ測定し、それぞれの測定値の最も低い値を超純水中の微粒子数として採用する。
Ce modèle, conçu à partir de la littérature actuelle, prévoit cinq dimensions déterminantes qui devraient faire l'objet d'un suivi continu.patents-wipo patents-wipo