본 발명은, 공정설비에서 발생되는 배기가스 처리 플라즈마 반응기에 관한 것으로서, 공정 챔버에서 배출되는 배기가스를 분해하도록 공정챔버와 진공펌프 사이에 배치되는 플라즈마 반응기에 있어서, 상기 배기가스가 유동하며, 유전체로 형성된 도관; 상기 도관 상에 설치되어, 상기 도관의 내부 공간과 차폐되는 제1 전극부; 및 상기 제1 전극부와 이격되어 배치되며, 상기 제1 전극부와 플라즈마 방전을 일으켜서 상기 배기가스를 분해하는 제2 전극부를 포함하고, 상기 플라즈마 방전에 의한 상기 도관의 손상을 방지하기 위하여, 상기 도관의 두께는 상기 플라즈마 방전이 집중되는 부분의 두께가 주변 부분의 두께보다 두껍게 형성된다.
Calls for bridging classes to be put in place for children coming late to education and for those returning to education from labour, conflict or displacementpatents-wipo patents-wipo