Per la sorella Assard, che è tedesca, lasciare la sua famiglia e permettere che il fratello Assard lasciasse il suo lavoro come affermato ingegnere meccanico ha richiesto una fede fuori dal comune.
본 발명은 마그네트 사이의 거리 또는 타겟과 마그네트 사이의 거리를 조절할 수 있는 원통형 스퍼터링 캐소드에 관한 것이다. 본 발명의 원통형 스퍼터링 캐소드에 의하면, 자기장 및 플라즈마의 균일성을 향상시켜 타겟의 균일 침식을 유도하여 박막을 균일하게 증착할 수 있으며, 타겟의 수명을 향상시킬 수 있는 장점이 있다.LDS LDS