본 발명은 자외선 영역에서 투과도가 뛰어나 물질(예컨대, Ga2O3)과 전기전도도가 뛰어난 물질(예컨대, ITO)을 함께 스퍼터링하여 단일층의 투명 전극을 형성함으로써, 각각의 물질 단독으로 투명 전극을 형성하거나, 각각의 물질은 순차적으로 증착하여 2개의 층으로 투명 전극을 형성하는 경우보다, 자외선 영역에서의 광투과도 및 전기전도도가 모두 뛰어난 투명전극을 형성할 수 있다.
These yellow stones that burn like coalpatents-wipo patents-wipo