본 발명에 따른 그래핀이 성장되어야 하는 기판이 내부에 구비되는 챔버; 상기 기판의 일 측면으로 반응가스가 유입되는 유입부; 상기 챔버에 진공을 인가하는 위한 진공부; 및 상기 챔버 상단에 구비되어, 상기 기판에 빛을 조사하기 위한 플래쉬 램프 또는 레이저를 포함하며 여기에서 상기 기판은 롤투롤(roll to roll) 이송수단에 의하여 이동되는 것을 특징으로 하며, 본 발명에 따른 그래핀 제조방법 및 장치는 대면적으로 조사되는 플래쉬 램프의 열을 이용, 그래핀 성장가스를 반응시켜 기판 상에 그래핀을 성장시킨다.
The method and apparatus for manufacturing graphene according to the present invention induces reaction gas for graphene growth using heat of the light irradiated over a large area from the flash lamp, so as to grow graphene on the substrate.patents-wipo patents-wipo